Aquesta tècnica permet determinar de forma quantitativa però també qualitativa la composició elemental de la mostra, basant-se en la mesura de la ràtio entre massa/ càrrega (m/Z) dels ions emesos de la font de plasma. L' isòtop de cada element correspon a un valor únic que es comptabilitza mitjançant el nombre de ions detectats en cada ràtio. L'avantatge de l'espectròmetre de masses sobre qualsevol altra tècnica d'anàlisi elemental de composició radica en que ofereix uns límits de detecció i quantificació summament baixos, de l'ordre de parts per bilió (ppb). Les característiques principals d'aquesta tècnica són:

  1. Determinació de la composició elemental a nivell de traces i mirco-traces.
  2. Determinació isotòpica dels diferents elements.
  3. Técnica destructiva.